高純抗氧化石墨坩堝的核心競爭力,源于基體純度與防護技術的深度融合
發布作者:jcadmin 發布時間:2025年12月23日
高純抗氧化石墨坩堝的中心競爭力,源于基體純度與防護技術的深度交融:
基體純度:99.95%是底線,雜質控制到ppb級
選用經2800℃以上高溫石墨化的超高純石墨(固定碳≥99.95%),灰分總量≤50ppm,關鍵雜質(Fe、Si、Al)含量≤10ppm(相當于每噸石墨中僅含10mg雜質)。這種純度能從源頭減少高溫下的雜質揮發:1600℃真空環境中,總揮發物含量≤0.005%(一般99.5%石墨達0.1%),防止污染電子級硅料(要求金屬雜質≤1ppb)。 更關鍵的是,高密度基體(1.88-1.92g/cm3)的孔隙率≤2%,能減少涂層滲入時的應力會集,使涂層附著力提升至12MPa(一般坩堝僅8MPa),處理了高純石墨因脆性導致的涂層易墜落問題。
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