用未燃燒的石油焦制成的石墨制品

用未焚燒的石油焦制成的石墨制品
    用未焚燒的石油焦制成的石墨制品，是二種機(jī)械強(qiáng)度很高的細(xì)粒結(jié)構(gòu)資料，可用于制造電子技能制品，如排期、薄板、因盤、真空爐和高頻電爐的加熱器、巡熱被、解泰她簽屬的石墨皿、高溫實(shí)驗(yàn)設(shè)備的操縱器（夾頭）、熱壓壓模和過(guò)濾器等。此種資料可用于懂性氣氛或保護(hù)性氣氛中在2500℃以下的溫度中作業(yè)；在真空(10-~10mmHgo，中于2000℃以下可以作業(yè)好久。MIT-8石墨可制成異型制品。
    高純石墨制品是用于制造半導(dǎo)體技能設(shè)備的各種元件，它是以普通的結(jié)構(gòu)石墨在石墨化進(jìn)程中用活性氣體凈化而成的。已凈化的石墨須在防止制品污染的條件下進(jìn)行機(jī)械加工。這種石墨（凈化后）的灰分不超越1×10%，鐵、鋁、鎂的含量不該超越3×105%，銅、硼、錳的含量不該超越1×10%。上面這些限制雜質(zhì)含量都契合純凈級(jí)。在這些石墨里，硅鈣的含量不大于3×10(質(zhì)量%），。工業(yè)上還有純度更高的結(jié)構(gòu)石墨。用這種石墨制成的制品通過(guò)機(jī)械加工之后再進(jìn)行彌補(bǔ)凈化，以削減其外表感染的幾率。限制雜質(zhì)——鐵、鋁、鎂、硼、銅、錳的含量不許超越1×10%，硅的含量不許超越3×10-%，鈦、鎳、鉻及其他元素的含量應(yīng)少于1x10%。這些石墨的灰分在0~10*%。各種商標(biāo)特純石墨的物理力學(xué)功能。
    注：TM石墨的熱處理溫度為2700℃，其他各種商標(biāo)石墨的熱處理溫度為2800~3000℃。有保護(hù)層的特純高強(qiáng)石墨是由普通細(xì)結(jié)構(gòu)石墨通過(guò)凈化并在真空中脫氣，然后用熱解炭進(jìn)行外表增密處理而成的。其制品（加熱器、圓盤、石墨皿等)可用于以氣體外延生長(zhǎng)法制取硅薄膜。制品內(nèi)雜質(zhì)含量：鐵不超越5×10*%，鋁不超越2×10%，鎂和銅不超越5x105%，鈦不超越1×10*%，鎳和鉆不超越1×10-%。
    熱解炭形成的增密保護(hù)層的厚度不大于2mm。也可在通過(guò)增密處理的石墨制品的外表，還可以沉積厚度不超越0.1mm的熱解石墨薄層。石墨制品經(jīng)熱解炭增密處理之后，其透氣性和氣