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拉伸單晶所用石墨異形件加工
發(fā)布作者：jcadmin 發(fā)布時(shí)間：2024年03月20日
拉伸單晶所用石墨異形件加工
石英蠟場(chǎng)制作用石墨坩場(chǎng)和超高純石墨部件加工在Cz法拉伸單晶硅時(shí)運(yùn)用石英坩蝸。石墨異形件加工石英坩期的制作工藝為在石墨模具內(nèi)裝人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋轉(zhuǎn)的一起運(yùn)用離心力使粉末沿模具內(nèi)壁附著，然后將多個(gè)高純石墨異形件加工刺進(jìn)模具中運(yùn)用電弧放電加熱至大約2000℃，溶融粉末和內(nèi)側(cè)的粉末變化為溶融石英并通明，冷卻后取出石英址鍋，除去外部粉末即為制品。電極因放電而氧化消耗，因?yàn)殡姌O放置在水晶粉末的上方，為不混入金屬雜質(zhì)需運(yùn)用超高純石墨。
PBN(熱分化氮化硼）坩場(chǎng)制作用石墨異形件加工在拉伸單晶化合物時(shí)運(yùn)用PBN坩塌。PBN坩場(chǎng)的制作工藝為，以加工成型的高純石墨模具為基材，運(yùn)用CVD法在其表面蒸鍍BN。因?yàn)槭木€膨脹系數(shù)比PBN的大，冷卻后能簡(jiǎn)單取出PBN坩場(chǎng)。為了前進(jìn)PBN的純度，也要求運(yùn)用高純石墨異形件加工。
