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石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點(diǎn)是什么
發(fā)布作者：jcadmin 發(fā)布時(shí)間：2024年03月12日
石墨舟裝片房：用于太陽(yáng)能職業(yè)與PECVD承載車(chē)配套、裝取硅片、制造中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣抵達(dá)凈化要求。
石墨舟作業(yè)原理：
空氣通過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞴P直單向送入裝片作業(yè)區(qū)，然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點(diǎn)：
1、能精確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位；
2、選用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)安定可靠；
3、選用GK系列高效空氣過(guò)濾器3只；
4、PECVD承載車(chē)在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；
5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度100級(jí)。
